ReticleSense™ 无线水平校准
ALSR 光罩片


通过测量Pitch、Roll、Rise、Overrun和垂直倾斜,加快设置正确的水平角度。在不同光罩制造机台之间快速且准确地设置相同的水平,以便实现更好的光罩制造工艺一致性。

优化机台设置。

实时测量方形光罩传送机台的水平状况(例如:光罩Stocker),并完全出现您生产机台的特性快速验证传送系统的校准和倾斜度,防止刮伤和未校准情况,以便您的机台可更快投入到生产使用中。光罩形状且具有真空适用性,您无需将工艺区域暴露在工厂环境中。

通过客观和可重复水平度调整进一步增强工艺的统一性。

通过用客观的数据测量值调整机台,将人为因素排除在外。通过 LevelView(TM) 软件图形用户界面轻松快速查看并存储测量值。一次又一次地进行正确调整。通过可重复的不同技术人员之间的水平测量获得更好的不同机台间的工艺一致性。

通过无线测量降低机台维护时间。

通过ALSR 和 LevelView™ 软件,以无线方式收集和显示倾斜数据。实时查看您的调整效果,加快机台校准并且让其更快投入到生产使用中。

特性

  • 方形光罩形状。方形形状特征。
  • 高准确性 垂直度和水平度测量分别精确到 0.03 和 0.05 度。
  • 无线。 以无线方式将数据传送到您的桌面或 PC 上。
  • 用户友好型软件。 LevelView 应用程序软件显示数字和图形倾斜数据,让您实时看到调整效果,加快机台校准并将让其更快投入到生产使用中。
  • 应用广泛。 ALSR 可用于几乎所有采用光罩的领域,并且可在 20 到 70 摄氏度的温度范围使用。

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Proven and Adopted Most Efficient and Effective Save Time and Expense