EX-Q 晶圆侦测传感器
晶圆侦测方面令人瞩目的巨大进步


我们的 EX-Q 晶圆侦测传感器提供对半导体晶圆及其在晶圆盒或FOUP中Slot错位的快速且可靠的侦测。该现成的传感器的侦测能力游刃有余(敏感度),可让其轻松侦测任何尺寸的薄且具有深色涂层的晶圆。而且,它无需那些可能导致particle污染的活动部件。

特性

  • EX-QS 有两种工作距离:1.5″和2.2″。EX-Q 也有1.5”和 2.2”这两种尺寸
  • 在工厂信号获取终端设置侦测各种尺寸和几何边缘的明亮、暗色和带涂层的晶圆。
  • 对侦测环境的干扰(包括散射)不敏感。
  • 简单易用型、“现成的”直接接口无需进行放大或信号调节,降低了机台总成本。
  • 非侵入式晶圆侦测解决方案保护贵重的晶圆,以防意外碰撞。
  • 无需可能导致particle污染的运动部件。
  • 侦测跨Slot放置且超薄的晶圆。
  • 注意连接器是可选的,并且必须在订购时指定。

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Proven and Adopted Most Efficient and Effective Save Time and Expense