常见问题解答

我们会定期将问题和答案添加到产品的常见问题部分。如果您未找到产品问题的答案,请联系我们

WaferSense® 和 ReticleSense™无线测量工具

WaferSense 无线微颗粒侦测 (APS晶圆) 常见问题

  • 工作原理

    APS晶圆 用于什么?

    • WaferSense APS晶圆是晶圆形状的无线传感系统,设计为传送经过半导体工艺设备和自动物料传送系统,以便监视系统内的particle并对其进行计数。
    • Particle侦测传感器实时监控流程工具内的particle …
    • FOUP、EFEM、机械手臂、旋转台、基板 … 几乎涵盖晶圆可去的任何地方
    • 机台质量验证更快 … 提高生产率

    APS晶圆与监控晶圆和手持式或台式粒子计数器等传统particle测量方法相比,优势在哪里?

    • 晶圆形状特征有助于缩短机台维修周期。
    • 更快速而完整的机台资质验证
    • 分区量测和/或故障排除时间减少
    • “In Situ” 系统中使用更少监控晶圆的优势,因为 APS晶圆是不固定的,可在工具的多个区域移动并且并不独立于流程腔。
    • 发生时“实时”在所在位置找到particle
    • 无线particle测量加快了设备资质验证
    • 客观且可重复性的量测数据有助于降低维修费用和减少维修计划。

    APS晶圆如何对particle进行计数?

    • 当按下 ParticleView 中的“启动”按钮时,APS晶圆中的风扇让空气通过内部腔传送到激光检测器
    • APS晶圆使用光散射技术检测气体或空气气流中的particle。当激光光束遇到particle时,一些光散射到检测器中,检测器就对particle信号进行计数,并将其分类到不同区块。
    • Particle数据以无线方式发送到笔记本电脑或系统控制台上运行的 ParticleView 应用程序软件,在这里会处理、显示并存储particle尺寸和计数信息。
    • APS晶圆原理:
    APS

    APS晶圆可替代particle监控晶圆吗?

    • APS晶圆并非用来替换particle监控晶圆。
    • APS晶圆传感器可让用户看到在机台中哪些地方会有particle污染晶圆情况发生。
    • 来自合格的清洁机台的基准数据可用于确定合格的机台是否“足够好”的状态来进行监控晶圆的量测,从而节省particle扫描机台和合格机台的机台使用时间。
    • APS晶圆可快速发现糟糕情况,而无需对监控晶圆进行扫描,这样可节省大量时间和金钱。

    APS晶圆目前使用的particle监控晶圆之间在使用方式上有什么区别?

    • 传统监控晶圆提供有关晶圆上particle的尺寸和位置的信息,但是它们无法直接提供信息来描述particle在机台什么地方落在晶圆上。
    • WaferSense APS晶圆传感器可被传送至工艺机台中的大多数工作站并定位在上面。在每个站上以及传送路径上计数particle有助于机台工程师快速定位particle来源源自何时和何地,以及当时发生什么情况!

    APS晶圆在机台内腔体间移动时,是什么能够最大程度减少了交叉污染?

    APS晶圆使用几种方法和技术,防止交叉污染,包括但不限于如下:
    • APS晶圆制造过程期间,APS晶圆外壳已根据半导体行业标准进行清洁。在每次使用之前建议对APS晶圆外部使用 IPA进行擦拭。
    • APS晶圆在出气口有一个过滤器,以便在排除前捕获进入 APS晶圆的particle。出口过滤器可在 CyberOptics 工厂进行替换。
    • APS晶圆可使用其现场清洁元件充电保存盒来监控其自己的排气并验证 APS晶圆排气是否是清洁的。
  • 产品用途和特性

    APS晶圆将检测的最小尺寸particle是多少?

    • APS 可检测小至 0.15 微米 的particle。

    APS将测量哪一范围的particle?

    • APS晶圆提供如下型号选择:
    o 0105 选项:100纳米 到 500纳米 和 500纳米以上尺寸的双通道

    APS晶圆气流速率是多少?

    • APS晶圆气流在 1 个大气压下为每分钟 0.1 立方尺。
    • APS晶圆在 1 个大气压下每 10 分钟推动 1 立方尺空气。
    • 每小时 6 立方英尺

    APS晶圆 的工作温度范围是多少?

    • 在较长使用时间段内,内部工作温度为 15c 到 45c。

    APS晶圆适用于真空吗?

    • • APS晶圆具有空气兼容性,当暴露于真空下的腔体内时不会受损。但是,为了对particle进行计数,APS晶圆将需要至少 0.4 大气压,以便风扇让particle通过 APS晶圆检测器区域。
    • 当真空腔体采用部分或完全的清洁干燥 N2 通风,APS晶圆可完成其工作并且腔体可保持密封且洁净。

    APS晶圆将在哪种类型的腔体气压下工作?

    • APS晶圆在 0.4 至 1.6 的大气压或惰性气体压力下工作。
    • APS晶圆不指定在有毒或腐蚀性气体中工作。

    如何校准 APS晶圆?

    • APS晶圆根据 ISO 21501-4:2007(E) 进行了NIST 可追踪聚苯乙烯乳胶球进行校准,该标准确定了用于校准和验证particle计数器的参数和方法。

    APS晶圆计数效率是多少?

    • 计数效率由 ISO 21501-4 定义为测试仪器的计数除以参考仪器的计数。
    • .1µm 到 .14µm 的APS晶圆计数效率将高达 30%
    • 根据 ISO 21501-4,.15µm 的APS晶圆计数效率将为 30% 到 70%
    • 根据 ISO 21501-4,更大通道的 APS晶圆计数效率将为 70% 到 130%

    APS晶圆数据可导出到其他应用程序(如,Matlab、LabView 或 Excel)吗?

    • 除了 APS晶圆记录的用于 ParticleReview 读取器回放的数据,当可导出到支持 .CVS文件格式的任何应用程序时,它还可创建 CSV 文件。
  • 维修保养

    APS晶圆需要定期校准或维修吗?

    • APS晶圆应每年进行一次工厂校准,以便确保其按照规格进行工作。
    • 电池更换包括在年度工厂校准中
    • 如果离上次校准传感器的时间超过 12 个月,我们建议您联系技术支持人员以便安排送回您的APS晶圆至工厂进行校准验证。

    有推荐的现场精度试验吗?

    • 当放在已知无particle的区域(如 ISO 2 级或更好)时,APS晶圆累计particle计数率应小于 APS晶圆错误计数率。
    • 当 APS晶圆和参考仪器以同样的气流取样时,APS晶圆计数效率会在数据表中指定。

    APS晶圆电池可持续多长时间?

    • APS晶圆完全充电后在测量模式下一般可运行 1 到 1.5 小时(即,风扇和激光开启),待机模式可高达 12 小时(即,元件开启,但是风扇和激光关闭)。
  • ParticleView™ 和 ParticleReview™ 软件

    APS晶圆软件支持数据记录吗?

    • 是的。无论何时您记录particle测量值,都只需单击“启动”。

    Particle密度和频率两种计数模式之间有什么区别?

    • Particle密度模式将particle信号分类到分区中,并根据用户选择的体积显示计数。
    • Particle频率模式将particle信号分类到分区中,并显示每分钟的原始计数。

    累积和差别particle计数模式之间有什么区别?

    • 累计计数是用更大尺寸或与通道尺寸相等的尺寸记录particle的数量。
    • 差别计数是特定通道内记录的particle的数量。
    • 所有差别通道计数的总和将等于最小通道的累积计数。

    什么是重复读取警报?

    • 当两个或更多particle同时通过激光光束时,将会只记录一个。出现这种情况时,ParticleView 会亮起一致性指示灯。
    • 当 APS晶圆用于对常规室内空气中的particle进行计数时,会出现重复读取报警。APS晶圆最优化为在清洁环境中使用。

WaferSense 无线中心校准 (ATS晶圆) 常见问题

  • 工作原理

    如何通过ATS晶圆实现中心校准?

    理想情况下,晶圆应该位于半导体机台工作台和机械手臂的中央位置?ATS中心校准晶圆模仿硅片并测量其中央与机台工作台和/或机械手臂的可见特征点之间的距离。
    ATS晶圆内的向下摄像头首先获得该载台的图像。然后,ATS晶圆使用图像识别软件检测并定位圆形特征点,被称作Target。最后,ATS晶圆使用机载校准数据来计算从 ATS晶圆的几何中心到特征点的中心之间的 x、y 和 z 偏移量。通过 TeachView 软件以数字和图形方式显示偏移量。技术人员可调整自动化机台,以便晶圆准确且可重复地落位于每个工作台的中心。

    特征点是什么?

    特征点是半导体机台各工作台的可视圆形特性点。例如,特征点可以是支撑梢、通气孔或定位孔。特征点是永久性的,并且不会随着时间而发生尺寸、外形或位置的改变。

    为什么我需要设备内有一个特征点?

    作为机载照相机收集图像数据的一部分,ATS晶圆使用的图像识别软件“期望”捕捉到目标。需确认特定机台工作台与 ATS晶圆相关性时,确定特征点很重要。特征点位于机台工作台中央时,技术人员可以方便地移动机械手臂,直到 x-y 偏移足够接近零。如果特征点不居中,您仍可以使用 ATS晶圆引导机台。请联系技术支持人员获取更多信息。

    什么是好的特征点特性?

    ATS晶圆设计为查找圆形特征点,因为设备站的大多数特征点都是圆形的。不考虑方向或 ATS晶圆,圆形特征点看起来都是一样的。即便特征点的一部分出现在图像中,也可准确地发现圆形特征点。最佳特征点直径基于到 ATS晶圆底部的距离。特征点直径通常在3 mm到10 mm的范围内。

    比起现有中心校准技术,ATS晶圆具备哪些优势?

    传统的中心校准技术包括使用对位销和有线“带相机晶圆”系统的机械治具。传统方法要求机台是冷却且需要部分拆卸的。这些方法具有很多缺陷,如断裂的电线、耗时设置和缺乏数据输出。
    晶圆形状且是无线的,ATS晶圆消除了中断设备生产就绪状态的必要性,从而大幅降低验证正确中心校准或调整所需的时间。此外,它提供可改善您的工艺的重复性和良率的偏移量数据。
  • 产品用途和特性

    有哪些 ATS晶圆形状?

    WaferSense ATS中心校准晶圆有三种尺寸:200 mm、300 mm 和 450mm。

    在制造 ATS中心校准晶圆的过程中用到了哪些材料?

    ATS中心校准晶圆是带环氧膜涂层的碳纤维基片。晶圆顶部有树脂标签。

    我如何从我的 ATS中心校准晶圆上收到偏移测量值?

    偏移量数据通过与 USB 端口链接的无线接收器传输到电脑中。每个 ATS晶圆都是可配对,并且会通过蓝牙通信协议与无线接收器通信。该协议以集中在 2.4 GHz 的频带使用射频能量。

    ATS晶圆工作距离范围是多少?

    ATS晶圆测量在中心校准晶圆下离特征点6.5 mm – 45 mm 的偏移量范围。

    我能将 ATS晶圆用于校准机械手臂吗?

    是的。晶圆形状特征和边缘外形可让 ATS晶圆被各种机械手臂当作实际晶圆来处理。

    我能用 ATS晶圆引导设备内的晶圆传送吗?

    是的。晶圆形状特征可让 ATS晶圆被机械手臂从载体上抓取,放在校准工作台上,然后在半导体机台内作为晶圆循环传送。大多数Load-Lock、真空密封阀件和工艺腔都可轻松容纳 ATS中心校准晶圆。ATS晶圆提供技术人员用于验证或调整晶圆传输机械手臂坐标所需的客观反馈。

    我能将 ATS晶圆用于引导机械手臂移动的 z 坐标吗?

    是的。ATS晶圆报告 x、y 和 z 偏移。当机械手臂将 ATS晶圆保持在特征点上方,报告的 z 偏移量表示从 ATS晶圆到靶面的距离。停在顶针上面时,报告的 z 偏移量表示从 ATS晶圆到基座/面板之间的距离。测量精度:x-y 为 ±0.1 mm (±0.004″),z 为 ±0.5 mm (±0.02″)

    我能将 ATS中心校准晶圆 用于高温条件下吗?

    是的。当其内部温度介于 20°C 和 50°C,ATS晶圆 提供准确的偏移测量值。但是,当暴露在高达 120°C 的空气中时,ATS晶圆传感器将在短期时间安全运作(通常不超过 5 分钟)。(ATS晶圆不应放在温度超过 75°C 的表面)将 ATS晶圆暴露于导致其内部温度超过 80°C的环境将不可逆转地损坏设备外壳内的电子设备。

    我能在低压(真空)情况下使用 ATS中心校准晶圆吗?

    是的。ATS中心校准晶圆可安全用于从大气压到超高真空范围的各种压力条件下。

    我如何为 ATS中心校准晶圆充电?

    每个 ATS晶圆都带有一个专用的晶圆承载盒,以便在运输过程中起到保护作用以及在充电时提供协助。只需让晶圆回到其承载盒上,然后通过提供的充电适配器将其连接到插座。尽管电池需要两个小时才能充满,但是在开始的第一个小时内就可达到80% 的电量。
  • 维修保养

    如何检测ATS中心校准晶圆 提供的是正确的偏移量数据?

    从工厂校准后 12 个月内您的中心校准晶圆提供的都是准确的偏移量数据。您的晶圆最新校准日期压印在晶圆外壳顶部的标签上。TeachView 软件在运行的同时访问“帮助”菜单下的“关于您的 ATS晶圆”选项将会为您提供该信息。像其他测量仪器一样,应该定期检测 ATS晶圆,以便验证其测量值是准确的。如果离上次校准的时间超过 12 个月,我们建议您联系技术支持人员以便安排您的 ATS晶圆返厂进行校准验证。

    ATS晶圆校准服务过程中提供了些什么?

    CyberOptics 半导体是唯一具有执行 ATS晶圆校准验证、更换 ATS晶圆电池和产品零部件的授权公司。为 ATS晶圆提供的校准服务包括更换电池、验证测量准确性以及向用户颁发校准证书。合适情况下,我们会提供中心校准晶圆的特殊的补救措施建议
  • TeachView™ 和软件

    如何记录用 ATS中心校准晶圆测量的数据?

    TeachView 软件(与 ATS晶圆一起提供)为用户提供了可方便记录与晶圆位置有关的偏移量(x、y 和 z)的方式。可在任何时间按住突出显示的“记录读数”按钮,以便记录显示的偏移数据。

    记录的数据能用来做什么?

    通过 TeachView 记录的数据可从默认 CSV(逗号分隔数据)文件还原。Microsoft Excel(以及其他可导入 CSV 文件的应用程序)可用于以表格或图形形式显示数据。然后,您可以使用统计处理工具(即,趋势分析、统计制程控制等)个性化您的机台表现和提高良率。
  • 干扰、污染和安全

    ATS晶圆如何与 TeachView 应用程序通讯?

    ATS晶圆利用蓝牙通信技术,通过蓝牙接收器将偏移数据发送到 PC。蓝牙技术使用 2.4 GHz 频带。

    如何能安全传送ATS中心校准晶圆?

    ATS晶圆比硅片更加耐用。这是敏感的电子测量仪器,应轻拿轻放。例如,请避免与坚硬物品撞击,尤其是可能刮伤镜片的物品或破坏晶圆底面的照明器。

    高温情况下, ATS晶圆是否会产生气体溢出?

    不会,请联系技术支持人员索要气体溢出测试报告的副本。

    ATS晶圆会造成particle污染吗?

    不会,请联系技术支持人员索要particle测试报告的副本。

    如何保持 ATS晶圆的洁净度?

    CyberOptics Semiconductor 在洁净环境组装每个 ATS晶圆之前,会根据半导体行业标准 对ATS晶圆的每个部件进行清洁。为了保持这种洁净度水平,我们建议您用半导体等级的异丙醇清洁设备的外壳和充电盒的内部和外部。

WaferSense无线微震侦测 (AVS晶圆)

  • 工作原理

    AVS晶圆用于什么?

    AVS晶圆可用于测量传送或工艺期间晶圆受到的振动。例如,典型的应用, WaferSense AVS晶圆可侦测工艺阶段和通过工艺机台传送晶圆的操作期间遇到的振动。

    AVS晶圆如何测量振动?

    AVS晶圆使用三个MEMS(微电子系统)测量晶圆的正交轴向的加速度。三个MEMS 元件中的每一个元件都可以测量固定的具有相反极性的电极板之间的移动质量块产生的微分电容。电容随加速度发生变化而变化。三个电极的差别电容通过模数转换器测量。专利技术用于将 MEMS 读数准确地转换成用地心引力做单位表示的加速度。
  • 产品用途和特性

    AVS晶圆将测量多大范围的振动?

    AVS晶圆测量 -2 G 到 +2 G 范围的振动。

    AVS晶圆分辨率规格是多少?

    AVS晶圆分辨率为±0.01 G。

    AVS晶圆的工作温度范围是多少?

    AVS晶圆将在 20ºC 到 70ºC 的温度范围准确工作。

    AVS晶圆具有真空适用性吗?

    是的。从大气压到超高真空范围的各种压力条件下,都可使用 AVS晶圆。

    真空条件下,AVS晶圆可以在密闭室内进行无线通讯吗?

    是的。WaferSense 设备专门设计为从封闭机台和工艺腔向外通讯。

    AVS晶圆将在什么类型的机台内工作?

    AVS晶圆设计为在所有半导体机台中工作。AVS作为晶圆被传送,并且可通过机台自动化传送到所有机台位置和传送位置。使用 AVS晶圆的常见示例包括:Diffusion、FI、OHT、Metrology
  • 维修保养

    AVS晶圆需要定期校准或维修吗?

    是的。与晶圆制造工厂使用的其他测量工具一样,AVS晶圆要求定期校准以便确保一直符合规格。我们建议您每年将 AVS晶圆送回工厂一次,以便更换电池、校准和重新验证。请联系技术支持人员进行安排。

    有推荐的现场精度试验吗?

    没有,我们建议您每年将 AVS晶圆送回工厂一次,以便更换电池、校准和验证。

    AVS晶圆电池可持续多长时间?

    AVS晶圆由具有 10 年适用期的可充电电池提供电量。AVS晶圆电池在高于 80°C 的温度下存储和/或工作会降低电池可含有的电量容量。AVS晶圆电池温度绝不能超过 100°C。电池是不可维修的。校准服务期间会替换。

    如何确认 AVS晶圆提供的是正确的振动数据?

    从工厂校正开始约 12 个月传感器提供最准确的倾斜数据。您的传感器最新校准日期压印在突起的电子设备外壳侧面的标签上。在 VibeView 软件运行的同时访问“帮助”菜单下的“关于您的 AVS晶圆 ”选项将提供该信息。
    如果离上次校准传感器的时间超过 12 个月,我们建议您联系技术支持人员以便安排送回您的AVS晶圆到工厂进行校准。

    如果我的 WaferSense 设备受损,我应该怎么办?

    如果您怀疑您的 WaferSense 设备有误用或受损情况,请联系技术支持人员寻求帮助,将您的 WaferSense 设备返回工厂进行维修和校准服务。
  • VibeView™、VibeReview™ 和软件

    VibeView 和 VibeReview 软件是什么?

    VibeView 软件应用程序实时监控并记录震动信息。VibeReview 可让您回放记录在 VibeView 中的文件。

    AVS晶圆有数据记录吗?

    是的。无论何时您想要记录振动数据,只需在 VibeView 单击“记录数据”部分的“启动”。

    AVS晶圆记录的数据可导出到其他分析应用程序(如,Microsoft Excel)吗?

    是的,在 VibeView ->设置 ->选项,选择“也记录 CSV 文件”,并且除了.avsdata 记录数据文件还会创建 .CSV 文件。
  • 干扰、污染和安全

    AVS晶圆如何与 VibeView 应用程序通讯?

    AVS晶圆利用蓝牙通信技术,通过蓝牙接收器将振动数据发送到 PC。蓝牙技术使用 2.4 GHz 频带。

    在工厂中使用蓝牙安全吗?

    根据 FCC 规则第 15 条,WaferSense 蓝牙接受器已测试并且发现符合 B 级数字设备的临界值之内。这些临界值设计为对住宅安装中的有害干扰提供合理的保护。我们并为发现共享频谱中来自其他设备或通过其他设备的任何介入的射频干扰对 WaferSense 来说是个问题。

    如何安全传送AVS晶圆?

    ATS晶圆比硅片更加耐用。这是敏感电子测量仪器,应轻拿轻放。例如,请避免坠落或受到load port门等坚硬物品的撞击。

    高温情况下,AVS晶圆是否会有气体溢出?

    不会,请联系技术支持人员要求他们为您提供气体溢出测试报告的副本。

    AVS晶圆会造成微粒子污染吗?

    不会,请联系技术支持人员要求他们为您提供微粒测试报告的副本。

    如何保持 AVS晶圆的洁净度?

    CyberOptics Semiconductor 在清洁环境组装每个 AVS晶圆之前,会根据半导体行业标准清洁 AVS晶圆的每个部件。为了维持这种水平的洁净度,我们建议您用半导体等级的异丙醇擦干设备的外壳和充电盒内外部。
  • 故障排除

    我收到“FTD2XX.DLL is missing”报错信息该怎么办?

    报错信息“FTD2XX.DLL is missing”有两种可能原因:
    1. 将蓝牙接收模块插入 USB 电缆之前,已执行 VibeView。
    2. VibeView 已执行,但是蓝牙接收模块的驱动程序尚未加载。
    解决方案:将蓝牙接收模块插入其 USB 连接线和电脑中。然后运行 VibeView;您应该不会再看到报错。如果您仍然收到报错信息,然后蓝牙接收模块的驱动程序可能未加载。再次运行安装。

    WaferSense 晶圆不与 WaferSense 蓝牙接收箱通信该怎么办?

    请确保蓝牙接收模块上的电源 LED 灯是亮起的。只有满足以下两个条件,蓝牙接收模块上的电源 LED 才会亮起:
    1. 必须加载驱动程序。
    2. USB 连接线必须与已通电的 UPS 枢纽/端口连接。
    加载驱动程序:
    通过从随附 WaferSense 设备的 CD 加载软件,可加载驱动程序。引导蓝牙接收模块和 WaferSense 产品的 Pair 状态和 Connection 状态应该亮起(红色常亮)。如果没有常量则可能需要维修。
    配对:
    1. 确保加载了驱动程序。
    2. 将蓝牙接收模块连接到通电 UPS 端口。产品配对完成之前,请勿启动 LevelView 应用程序。
    3. 请确保绿色电源 LED 灯亮起。
    4. 按住蓝牙接收模块右边的新配对按钮 10 秒钟,然后放开。配对状态和连接状态指示灯应快速闪烁。然后,连接状态指示灯应熄灭,并且配对指示灯应继续慢慢闪烁。这说明蓝牙接收器现在正在搜索等待配对的 WaferSense。
    5. 现在,开启 WaferSense ALS 并按住元件上的新配对按钮。坚持 10 秒钟,然后放开。配对状态和连接状态指示灯应快速闪烁。然后,连接状态指示灯应熄灭,并且配对指示灯会继续慢慢闪烁。两个元件最终完成配对可能要花 20 秒钟。连接时,配对状态和连接状态指示灯应亮起(红色常亮)。如果元件无法配对成功,需关掉 WaferSense的电源,然后重复第 5 步。
    6. 元件配对后,您可以启动 WaferSense 软件应用程序。

    WaferSense设备不断失去连接该怎么办?

    可能的原因:
    PC 电池电源选件:
    我们发现,根据 PC 和/或 PC 电池资源设置,可能会有这样的情况:PC 会花几毫秒时间“查询”USB 端口并存储电量,尤其是 PC 电池余量很低时。它查询 USB 端口,将这些端口关闭,然后看是否连接上了。当 WaferSense 出现这种情况,可能会失去连接,并且重新建立连接需要花 40 秒钟。
    故障排除和/或解决方案:
    • 尝试用交流电电源连接PC,然后运行 PC。
    • 进入 PC 电源选项,并将 PC 设置为“最高系统性能”:查看 PC 靠电池电源运行时是否能解决问题。
    • 用完全充电的电池运行 ALSS2/ALS2V 和笔记本电脑。
    坏的或异常的 USB 端口。
    故障排除和/或解决方案:
    • 尝试不同的 USB 端口。
    • 验证 USB 连接线是否连接稳固。
    • 尝试不同的PC。
    链接箱与 WaferSense 晶圆的接近度和/或位置。
    故障排除和/或解决方案:
    • 将蓝牙接收器移动到距离 ALS2/ALS2V 晶圆更近的位置。
    • 如果存在工艺腔窗口或其他机台位置时,ALS2/ALS2V信号可能会更好地从机台传输出来,尝试移动蓝牙接收器的物理位置。有时,只需将蓝牙接收器移动到不同位置就可以解决连接问题。
    WaferSense 晶圆或 WaferSense接收器或 ALS2/ALS2V 晶圆的问题。
    故障排除和/或解决方案:
    • 替换接收器– 问题会追随接收器吗?
    • 替换WaferSense 晶圆 – 问题会追随晶圆吗?

WaferSense 无线间隙测量 (AGS晶圆) 常见问题

  • 工作原理

    AGS晶圆如何测量间隙?

    电容与两块面板之间的间隙距离成反比。AGS晶圆测量的是从AGS晶圆上表面到showerhead“平面”之间的电容。AGS晶圆内的微型电脑使用已存储的校准数据和实时传感器温度数据,将电容测量值转换成间隙测量值

    AGS晶圆如何测量平行度?

    当间隙距离均相等时,两个表面平行。AGS晶圆为用户显示三个间隙数据。当三个间隙数值在用户指定的公差范围都相等时,表面为平行的。
  • 产品用途和特性

    AGS晶圆测量的间隙范围是多少?

    AGS晶圆设计为测量 9mm 到 20mm(0.35” 到0.79”)的间隙范围。

    AGS晶圆的精确度规格是多少?

    AGS晶圆平行精确度是 0.025mm (±0.001”),15mm (0.6″) 间隙时的对应的精确度是 0.25mm (±0.01”)。

    AGS晶圆的工作温度范围是多少?

    AGS晶圆在 20ºC 到 70ºC 的温度范围可准确运行。

    AGS晶圆可用于真空吗?

    是的。从大气压到超高真空范围的各种气压条件下,都可使用 AGS晶圆。

    AGS晶圆在何种类型的工艺腔内工作?

    AGS晶圆设计为在具有平行面板在半导体机台内工作,其中上部面板为导体。示例:

    • Applied Producer PECVD
    • Novellus Vector
    • ASM Eagle 12

    AGS晶圆可提供有关其他工艺腔使用的有帮助的信息。请联系技术支持人员提供最新信息。

  • 维修保养

    AGS晶圆需要定期校准或维修吗?

    是的。就像晶圆制造工厂使用的其他测量工具一样,AGS晶圆要求定期校准以确保一直符合规格。我们建议您每年将 AGS晶圆返回工厂一次,以便更换电池、校准和重新验证。请联系技术支持人员进行安排。

    有推荐的现场精度测试吗?

    没有,我们建议您每年将 AGS晶圆返回工厂一次,以便更换电池、校准和验证。当然,您可以将 AGS晶圆放在已知间隙中,以便验证测量值。

    AGS晶圆电池续航时间为多久?

    AGS晶圆由具有 10 年存放期的可充电电池提供电量。500 次完全放电充电后,电池可充电量至少为原始电量的80%。AGS晶圆电池在高于 80°C 的温度下存储和/或工作会降低电池可充的电量。AGS晶圆电池温度绝不能超过 100°C。电池不是可维修服务型的。校准服务期间会替换。
  • GapView™ 和软件

    AGS晶圆有数据记录吗?

    是的。无论何时您想要记录读数,只需单击“记录读数”。任何读数都可以通过此方式记录到 CSV(逗号分隔数据)文件
  • 干扰、污染和安全

    如何保持 AGS晶圆的洁净度?

    CyberOptics Semiconductor 在清洁环境组装每个 AGS晶圆之前,会根据半导体行业标准清洁 AGS晶圆的每个部件。为了保持这种水平的清洁度,我们建议您用半导体等级的异丙醇擦干AGS晶圆的外壳和充电盒的内外部。

无线水平校准 (ALS2) 和无线水平垂直校准系统 (ALS2V) 常见问题

  • 工作原理

    WaferSense ALS2 用于什么?

    ALS2 垂直和水平校准晶圆用于测量和调整cassette、FOUP、机械手臂、LoadLock、transfer pin、工艺腔基板,以便完全特征化所有工厂的生产和传输设备。

    ALS2V 倾斜测量值使用的是什么参考面?

    默认情况下,传感器显示相对于与地心引力方向垂直的平面前后方向和左右方向偏离水平的度数。通过 LevelView™ 软件可指定不同的参考平面,并用于量测相对倾斜数据(相对测量值)。

    ALS 和 ALS2 之间的区别?

    WaferSense 水平/垂直校准晶圆的新版 ALS2/ALS2V 具有许多优势:

    ALS2V 特性/增强 ALS2 好处
    更薄的设计 6.3mm 可进入更多的机台以及自动运转下去到更多地方
    新的碳纤维复合材料外壳 更薄、更干净且更坚硬。可用ESC抓取
    垂直倾斜度测量 可用于垂直离子植入机和湿式工作站的垂直校准
    更大的水平工作范围 测量更倾斜的基板,尤其是在镀铜区域
    LevelView 2.0合理化应用程序软件界面 用户友好型软件界面。用户友好型面板
    LevelView 2.0 提供斜率和极坐标显示选项 更多易用的数据输出选项

    ALS2V 如何测量垂直和水平倾斜度?

    ALS2V 使用三个 MEMS(微电子系统)测量 X、Y 和 Z 轴的倾斜度。ALS2V 可以测量与地心引力或参考平面有关的倾斜度。
  • 产品用途和特性

    ALS2V的水平和垂直倾斜度范围和相应的精度规格是多少?

    ALS2水平倾斜精度在±7.0度 范围内为±0.03 度。ALS2垂直倾斜精确度在 ±50.0度 范围内为 ±0.05 度。

    ALS2/ALSV 的解析度规格是多少?

    ALS2/ALS2V 水平解析精确度在±14.0 度范围内为±0.002 度。ALS2V 垂直倾斜解析度在±50.0 度范围为±0.01 度。

    ALS2/ALSV 工作温度是多少?

    ALS2/ALS2V 在 20ºC 到 70ºC 温度范围将准确工作。

    ALS2/ALS2V 适用于真空环境吗?

    是的。从大气压到超高真空范围的各种压力条件下,都可使用 ALS2晶圆。

    真空条件下,ALS2/ALS2V是否在密闭室内以无线方式进行通讯?

    是的。WaferSense 设备专门设计为从封闭机台和密闭真空腔内向外通讯。

    ALS2/ALS2V 将在哪些类型的机台中工作?

    ALS2/ALS2V 设计为在所有半导体机台中工作。ALSS2可作为晶圆进行传送,并且可通过机台自动化传输到所有机台位置和传送位置。使用 ALS2 的常见示例包括:

    • Diffusion
    • FI
    • OHT
    • Metrology
    • CVD/PVD/Etch
    • Photo

    Please contact technical support to request the latest information.

  • 维修保养

    ALS2/ALS2V需要定期校准或维修吗?

    是的。与晶圆制造工厂使用的其他测量工具一样,ALS2 要求定期校准以便确保一直符合规格。我们建议您每年将 ALS2产品送回工厂一次,以便更换电池、校准和重新验证。请联系技术支持人员进行安排。

    ALS2电池可持续多长时间?

    ALS2由具有 10 年适用期的可充电电池提供电量。ALS2 电池在高于 80°C 的温度下存储和/或工作会降低电池电量容量。ALS晶圆电池温度绝不能超过 100°C。电池是不可维修的的。校准服务期间会进行替换。通常情况下,状态良好的 ALS2 电池完全充电后可持续 4 到 5 小时。

    如何检测传感器提供的是正确的倾斜数据?

    从工厂校准开始约 12 个月内传感器提供最准确的倾斜数据。您的传感器最新校准日期压印在突起的电子设备外壳侧面的标签上。LevelView 软件运行的同时,访问“帮助”菜单下的“关于 LevelView”选项将提供该信息。

    如果离上次校准传感器的时间超过 12 个月,我们建议您联系技术支持人员以便安排返回您的 WaferSense产品到工厂进行校准。如果您只使用绝对测量值并且具有不会振动的平坦、水平花岗岩,您可以轻松通过测量该测试表面的倾斜度验证您的元件的功能。如果平板是平坦且处于水平位置,ALS 应指示前后方向和左右方向 0° 倾斜度。

    如果我的 Wafersense 设备受损,我该怎么办?

    如果您怀疑您的 WaferSense 设备有误用或受损的情况,请联系技术支持人员寻求帮助,将您的 WaferSense 设备送回工厂进行维修和校准服务。

    ALS2/ALS2V 校准服务过程中提供了些什么?

    CyberOptics 是唯一获授权执行 ALS 校准验证、更换 ALS 电池和产品零部件的公司。为 ALS 提供的校准服务包括更换电池、验证传感器精度以及向用户发布校准信息。适当时,会为不符合规格的传感器提供补救措施建议。
  • LevelView™、LevelReview™ 和软件

    LevelView 和 LevelReview 软件是什么?

    LevelView 软件应用程序实时量测并记录倾斜度信息。LevelReview 应用程序可让您播放 LevelView 所记录的倾斜文件。

    ALS2/ALS2V 有数据记录吗?

    是的。可通过在 LevelView 中点“现在记录读数”按钮实现。

    ALS2/ALS2V 记录的数据可以导出到其他分析应用程序(如,Microsoft Excel)吗?

    是的。所有 LevelView 记录数据都保存在 CSV 文件,并且可导出到支持 CVS 文件格式的任何应用程序。
  • 干扰、污染和安全

    ALS2/ALS2V 晶圆如何与 LevelView 应用程序通讯?

    ALS2 晶圆采用蓝牙通信技术通过蓝牙接收器将 X、Y 和 Z 倾斜数据发送到 PC 上。蓝牙技术使用 2.4 GHz 频带。

    在工厂中使用蓝牙安全吗?

    根据 FCC 规则第 15 条,WaferSense 蓝牙接受器已测试并且发现符合 B 级数字设备的临界值之内。这些临界值设计为对住宅安装中的有害干扰提供合理的保护。我们并为发现共享频谱中来自其他设备或通过其他设备的任何介入的射频干扰对 WaferSense 来说是个问题。

    如何安全传送WaferSense 晶圆?

    WaferSense 晶圆比硅片更加耐用。这是敏感电子测量仪器,应轻拿轻放。例如,请避免坠落或受到load port门等坚硬物品的撞击。

    高温情况下,WaferSense 晶圆是否有气体溢出?

    不会,请联系技术支持人员要求他们为您提供气体溢出测试报告的副本。

    WaferSense 晶圆会造成微粒子污染吗?

    不会,请联系技术支持人员要求他们为您提供微粒测试报告的副本。

    如何保持 WaferSense 晶圆的洁净度?

    CyberOptics Semiconductor 在清洁环境进行组装之前,会根据半导体行业标准清洁 ALS2的每个部件。为了维持这种水平的清洁度,我们建议您用半导体等级的异丙醇擦干晶圆的外壳和充电盒内外部。
  • 故障排除

    我收到“FTD2XX.DLL is missing”报错信息该怎么办?

    报错信息“FTD2XX.DLL is missing”有两种可能原因:
    1. 将蓝牙接收模块插入USB 连接线之前,已执行 LevelView。
    2. LevelView 已执行,但是蓝牙接收模块的驱动程序尚未加载。
    解决方案:将蓝牙接收模块插入其 USB 连接线和电脑中。然后运行 LevelView;您应该不会再看到报错信息。如果您仍然收到报错信息,那么蓝牙接收模块的驱动程序可能未加载。再次运行安装。

    WaferSense 晶圆与 WaferSense蓝牙接收器通讯该怎么办?

    请确保蓝牙接收模块上的电源 LED 灯是亮起的。只有满足以下两个条件,蓝牙接收模块上的电源 LED 才会亮起:
    1. 必须加载驱动程序。
    2. USB 连接线必须与已通电的 UPS 枢纽/端口连接。
    加载驱动程序:
    通过从随附 WaferSense 设备的 CD 加载软件,可加载驱动程序。引导蓝牙接收模块和 WaferSense晶圆的 Pair 状态和 Connection 状态应该亮起(红色常亮)。如果未常量则可能需要重新配对。
    配对:
    1. 确保加载了驱动程序。
    2. 将蓝牙接收模块连接到通电 UPS 端口。产品配对完成之前,请勿启动 LevelView 应用程序。
    3. 请确保绿色电源 LED 灯亮起。
    4. 按住蓝牙接收模块右边的新配对按钮 10 秒钟,然后放开。配对状态和连接状态指示灯应快速闪烁。然后,连接状态指示灯应熄灭,并且配对指示灯应继续慢慢闪烁。这说明蓝牙接收器现在正在搜索等待配对的 WaferSense。
    5. 现在,开启 WaferSense ALS 并按住元件上的新配对按钮。坚持 10 秒钟,然后放开。配对状态和连接状态指示灯应快速闪烁。然后,连接状态指示灯应熄灭,并且配对指示灯会继续慢慢闪烁。两个元件最终完成配对可能要花 20 秒钟。连接时,配对状态和连接状态指示灯应亮起(红色常亮)。如果元件无法配对成功,需关掉 WaferSense的电源,然后重复第 5 步。
    6. 元件配对后,您可以启动 WaferSense 软件应用程序。

    WaferSense 设备不断失去连接该怎么办?

    可能的原因:

    PC 电池电源选件:
    我们发现,根据 PC 和/或 PC 电池资源设置,可能会有这样的情况:PC 会花几毫秒时间“查询”USB 端口并存储电量,尤其是 PC 电池余量很低时。它查询 USB 端口,将这些端口关闭,然后看是否连接上了。当 WaferSense 出现这种情况,可能会失去连接,并且重新建立连接需要花 40 秒钟。
    故障排除和/或解决方案:
    • 尝试用交流电电源连接PC,然后运行 PC。
    • 进入 PC 电源选项,并将 PC 设置为“最高系统性能”:查看 PC 靠电池电源运行时是否能解决问题。
    • 用完全充电的电池运行 ALSS2/ALS2V 和笔记本电脑。
    坏的或异常的 USB 端口。
    故障排除和/或解决方案:
    • 尝试不同的 USB 端口。
    • 验证 USB 连接线是否连接稳固。
    • 尝试不同的PC。
    链接箱与 WaferSense 晶圆的接近度和/或位置。
    故障排除和/或解决方案:
    • 将蓝牙接收器移动到距离 ALS2/ALS2V 晶圆更近的位置。
    • 如果存在工艺腔窗口或其他机台位置时,ALS2/ALS2V信号可能会更好地从机台传输出来,尝试移动蓝牙接收器的物理位置。有时,只需将蓝牙接收器移动到不同位置就可以解决连接问题。
    WaferSense 晶圆或 WaferSense接收器或 ALS2/ALS2V 晶圆的问题。
    故障排除和/或解决方案:
    • 替换接收器– 问题会追随接收器吗?
    • 替换WaferSense 晶圆 – 问题会追随晶圆吗?

WaferSense无线水平校准(ALS晶圆) 和 ReticleSense无线水平校准(ALSR光罩片) 常见问题

  • 工作原理

    ALS晶圆如何量测倾斜度?

    ALS 晶圆采用两个电解式倾斜仪,相互固定在正确的角度。每个倾斜仪的电压输出都转变成前后方向和左右方向倾斜数据。

    ALS 倾斜测量值的量测参考面是什么?

    默认情况下,传感器显示相对于与地心引力方向垂直的平面前后和左右方向偏离水平的度数。通过 LevelView(tm) 软件可指定不同的参考平面,并用于测量相对水平数据(相对测量值)。
  • 产品用途和特性

    ALS可有哪些形状?

    产品线包括晶圆形状 (WaferSense) 和光罩形状 (ReticleSense) 倾斜测量工具。晶圆形状工具有三种尺寸。150 mm (6″)、200 mm、(8″) 300 mm (12″)   和 450mm (18″)。光罩形状工具有一种尺寸。150 mm (6″)。

    制造ALS晶圆时使用了哪些原料?

    所有 WaferSense ALS工具都是由带树脂标签的铝(主体)制造的。.晶圆形状工具可进行无电镀镍或黑色阳极抛光。光罩形状工具可采用黑色阳极抛光。

    如何从ALS设备接收倾斜测量值?

    倾斜数据通过与 USB 端口链接的蓝牙接收器传输到电脑中。每个ALS晶圆都可以配对,并且会通过蓝牙通信协议与蓝牙接收器通信。该协议使用约 2.4 GHz 的频带射频能量。

    两个ALS设备可使用同一蓝牙接收器吗?

    是的。蓝牙通信协议可在两端建立唯一的通讯通道。虽然ALS设备和蓝牙接收器可在现场配对或重新配对通信,但是蓝牙接收器一次只接收来自一台ALS设备的数据。接收器和ALS晶圆都不会与任何其他具有蓝牙功能的设备通信。

    可以将ALS设备用于测量机械手臂的倾斜度吗?

    是的。晶圆形状特征可通过各种机械手臂将ALS当作晶圆进行传送。

    可以使用ALS设备测量我的机台内的晶圆传送的倾斜度吗?

    是的。晶圆形状特征可让ALS晶圆被机械手臂从载体(如,cassette或FOUP)拾取,放在校准台上,然后在半导体机台内作为晶圆循环。LoadLock和工艺腔可以很好地容纳 ALS晶圆,这可允许在需要时实时测量和调整。

    可以用ALS测量其他现象(如,振动或加速)吗?

    不可以。ALS设计为基于参考平面测量前后和左右方向上的倾斜度。ALS不能直接测量振动;但是,您可以观察到使用期间最终导致振动的平面倾斜。使用电解倾斜仪测量加速是不够的。

    可以在高温条件下使用ALS晶圆吗?

    。ALS晶圆在 20°C 到 70°C 的温度之间提供最准确的倾斜测量值。当暴露于高于 70°C 的温度条件下,设备将安全运行,但是精确度会略微降低。

    所有测量值都仔细地进行了温度补偿,以便内部传感器的温度变化不会影响测量到的倾斜数据。过长时间将ALS暴露于高于 70°C 的温度会不可逆转地损坏设备外壳内的电子设备。

    可在低压(真空)条件下使用ALS晶圆吗?

    是的。从大气压到10-6托的各种压力条件下,都可安全使用ALS晶圆。

    如何为ALS晶圆充电?

    每个ALS晶圆都带有一个透明的抓斗形状的盒子,以便在运输过程中起到保护作用以及在充电时提供协助。只需将设备放回到盒子中,用锁紧螺栓固定住。接下来,通过提供的直充适配器用插座与盒子链接。尽管电池需要两个小时才能充满,但是在一个小时内就可以充入 80% 的电量。
  • 维修保养

    如何检测ALS提供的是正确的倾斜数据?

    从工厂校准开始约 12 个月内传感器提供最准确的倾斜数据。您的传感器最新校准日期压印在突起的电子设备外壳侧面的标签上。LevelView 软件运行的同时,访问“帮助”菜单下的“关于 LevelView”选项将提供该信息。
    如果距离上次校准传感器的时间超过 12 个月,我们建议您联系技术支持人员以便安排将您的ALS晶圆送回工厂进行校准。如果您只使用绝对测量值并且具有不会振动的平坦、水平花岗岩,您可以轻松通过测量该测试表面的倾斜度验证您的元件的功能。如果平板是平坦且处于水平位置,ALS应指示前后和左右 0° 倾斜度。
    但是,如果您怀疑误用或有损坏,需要时,CyberOptics 可验证在该产品的整个工作范围元件的精确度。请联系技术支持人员寻求帮助,以便将ALS晶圆返回工厂进行校准服务。

    ALS 校准服务过程中提供了些什么?

    CyberOptics 是唯一获授权执行ALS校准验证、更换ALS电池和产品零部件的公司。为ALS提供的校准服务包括更换电池、验证传感器精确度以及向用户发布校准信息。适当时,会针对不符合规格的传感器提供弥补措施建议。

    如果我的ALS晶圆受损,我可以怎样处理?

    替换 ALS晶圆外壳内所包含的大多数电子组件(除了电解倾斜仪)是有可能并切合实际的。电解倾斜仪损坏或ALS晶圆金属外壳的完整性遭到损坏都是不可修复的。这种情况下,您需要获得替换的产品。
  • LevelView 和软件

    如何记录用ALS晶圆测量的倾斜数据?

    随ALS晶圆一起提供的 LevelView 软件提供两种用以记录设备测量的倾斜数据的选项。单个数据点与持续数据。通过选择合适的复选框可轻松在两者之间切换,并且指定间隔,您可以设置为每秒钟一次至每 60 分钟一次。

    将使用什么格式存储数据?

    用 LevelView 记录的数据可以从默认的 CSV(逗号分隔数据)恢复。Microsoft Excel 可用于显示这些数据并处理它们,以便区分趋势或其他与倾斜度有关的信息。LevelView 可用于通过在实时显示与历史数据(使用左上角的按钮和通知连接状态图标,并记录读数图标切换)之间切换来检索图形格式的历史记录的数据。
  • 干扰、污染和安全

    ALS晶圆发射射频信号吗?

    是的。传感器采用蓝牙通信协议以便通过链接箱将倾斜数据转播到笔记本电脑上。蓝牙技术使用 2.4 GHz 频带。

    如何安全传送ALS晶圆?

    ALS晶圆是需要像其他电子设备一样的传送方式处理的电子测量仪器。例如,请避免与坚硬物品撞击,尤其是可能危害设备的支撑平面的物品。

    高温情况下,ALS是否会有气体溢出?

    不会,请联系技术支持人员获取测试报告。

    ALS晶圆会造成微粒子污染吗?

    不会,请联系技术支持人员获取测试报告。

    ALS晶圆会造成金属污染吗?

    不会,请联系技术支持人员获取测试报告。

    如何保持 ALS元件的清洁度?

    制造期间,CyberOptics Semiconductor 已尽一切努力清洁 ALS水平校准传感器。为了继续维持这种水平的清洁度,我们建议您用异丙醇或温和的洗涤剂水溶液擦干设备的外壳和充电盒的内外部。ALS晶圆无法经受住洗涤水溶液的完全浸没或与强酸性水溶液接触。