产品库和下载

就 WaferSense®和 ReticleSense™ 无线测量工具和晶圆侦测传感器(包括可下载产品说明、技术注释和常见问题)所需的所有产品信息,

CyberOptics 半导体事业部以提供针对性和专家级别的技术支持而自豪。只需轻点指尖或打个电话就会有丰富经验和知识的应用工程师和技术支持工程师为您服务。打电话、发传真或电子邮件给应用工程部获得立即解答或产品信息。我们有专门的支持团队,可在周一至周五上午 8 点到下午 5 点(太平洋时间)为您提供帮助。


WAFERSENSE® 和 RETICLESENSE™无线测量工具

WaferSense无线微颗粒侦测 (APS晶圆) 和 ReticleSense无线微颗粒侦测 (APSR光罩片)

手册和指南
带驱动程序的完整APS 分配盘
APS晶圆 和 APSR方形光罩片 平面图纸尺寸

For additional dimensional drawing needs, please contact technical support/engineering at CSsupport@cyberoptics.com, 1-800-366-9131 or 1-763-542-5000.

WaferSense 无线中心校准 (ATS晶圆)

WaferSense™ 无线微震侦测 (AVS晶圆)

手册和指南
带驱动程序的完整AVS 分配盘
AVS 平面图纸尺寸

For additional dimensional drawing needs, please contact technical support/engineering at CSsupport@cyberoptics.com, 1-800-366-9131 or 1-763-542-5000.


晶圆侦测传感器&影像撷取卡

晶圆侦测传感器 EX-43Q、EX-73Q、EX-83Q、EX-93Q、EX-43QS 和 EX-73QS

EXQ 和 EX-QS 型号是推荐的新款和升级款式。它们都是后向兼容的,并且比旧款型号和停用型号成本更低,性能更高。请联系技术支持人员获取最新信息。

重要提示

EX-Q 具有与 EX 和 WX 传感器相同的机械尺寸、电接口和数位输出。有关 EX-Q 晶圆侦测传感器升级的具体问题,请联系技术支持人员。小尺寸的EX-QS 的性能与 EX-Q的性能相同。

CyberOptics 提供旨在避免靠猜想进行设置的对位卡。它可让用户快速且准确地确定工作角度和工作距离,以便确保最优的晶圆侦测性能。联系技术支持人员以便获得对位卡。

手册和指南
技术注释
数据表

旧型号/Hama侦测传感器

旧型号产品:

EX 和 WX 映射传感器型号可用于复制确切的置换老款产品的应用。请联系技术支持人员以便要求老款返厂检查。

停用产品:

以下 HAMA 型号已停用:WX、ZX、DX、DT、DD、LR、WRM、DRM、ROX 和 RWX.不再维修这些型号。请联系技术支持人员获取最新的替代型号选择和安装建议。

激光测微器

这些 HAMA 产品已停用。如果您有问题或需要数据表或用户指南,请联系技术支持人员。已停用测微器产品包括 PA 和 PAS 系列测微器、入门套件 DAC电线。

升级信息:

EX-Q、EX-QS 系列的晶圆侦测传感器可替换 EX 晶圆侦测传感器以及已停用的 HAMA实验仪器和 HAMA 传感器型号:WX、ZX、DX、DT、DD、LR、WRM、DRM、ROX 和 RWX。当前型号是兼容老款型号的,并且比老款和已停用型号成本更低且性能更高。我们的应用工程师随时可为您提供型号选择和安装建议。有关更多升级的信息 单击此处或联系技术支持人员。.