依产品类别的应用说明

使用 WaferSense 和 ReticleSense 测量工具的半导体工艺制程和部门


CMP

光刻技术

化学气相沉积;CVD、ALD

原子层沉积;ALD

外延生长

干法刻蚀

微污染

快速热处理:RTA、RTP

扩散/炉管

模组维修

测试和检测

湿(化学)刻蚀、等离子刻蚀

热氧化/金属化

电浆气相沉积;PVD

离子注入

自动传送系统:AMHS

量测